Fertigung von Mischlosen in der Mikroelektronik auf der Basis eines Verfahrens zur Verfolgung von Einzelscheiben

In der Mikroelektronik wird zunehmend die Forderung nach flexibler und dennoch kostengünstiger Fertigung mit kleinen Losgrößen unter Verwendung der marktüblichen, auf die Belange der Massenfertigung hin ausgelegten Gerätetechnik gestellt. Auf der Basis einer Untersuchung aller Einflüsse auf die wirtschaftliche Fertigung flexibler Losgrößen wird ein Verfahren zur fertigungsweiten Bildung und Trennung von Mischlosen bestehend aus Substraten mehrerer Lose bzw. unterschiedlicher Produkte konzipiert. Die Mischlose werden mit Hilfe lokaler Intelligenz auf der operativen Ebene zusammengestellt und ermöglichen die Beladung der Fertigungsgeräte mit Losgrößen nahe des optimalen Betriebspunktes. Zum Einsatz des Verfahrens in bestehenden Fertigungen wird ein System entwickelt, das die einzelnen Substratscheiben über den gesamten Herstellprozeß hinweg trotz wechselnder Zugehörigkeit zu Mischlosen zuverlässig verfolgbar macht. Eine eingehende Betrachtung der Schnittstellen des Systems zur Umgebung z eigt die universelle Einsetzbarkeit auf. Die durchgeführten Untersuchungen liefern eine Reihe grundlegender Erkenntnisse der logistischen und informationstechnischen Prozesse um das Halbleiterfertigungsgerät herum. Insbesondere wird auf die Einsetzbarkeit unter Verwendung verschiedener Förderhilfsmittel und Identifikationsverfahren eingegangen. Am Beispiel einer flexiblen Fertigungslinie wird das Verfahren zur Mischlosbildung unter Verwendung des Systems zur Verfolgung von Einzelscheiben erprobt und der Nutzen für die Wirtschaftlichkeit nachgewiesen.