Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Arsenic implanted polysilicon layers.

Arsen implantierte Polysiliziumschichten
 

Journal of applied physics 24 (1981), pp.197-200 : Abb.,Lit.
ISSN: 0021-8979
ISSN: 1089-7550
English
Journal Article
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Arsen; implantation; Polysilizium; Schicht; Silizium

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-4634.html