Fraunhofer-Gesellschaft

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Einfluß von Substrattemperatur und Plasmaaktivierung auf Struktur und Eigenschaften von PVD-Al2O3-Schichten

 
: Zywitzki, O.

Freiberg, 1997, III, 108 Bl. : Ill.
Freiberg, TU, Diss., 1997
German
Dissertation
Fraunhofer FEP ()
Aluminiumoxid; dünne Schicht; Elektronenstrahl; Magnetronsputtern; PVD-Verfahren

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-46096.html