Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Dünne Membranen aus Silizium

 
: Mokwa, W.; Dura, H.-G.
: Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg

Duisburg, 1993, 1 pp. : Abb.
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Fraunhofer IMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-45804.html