Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Berührungslose Gestaltvermessung von Mikrostrukturen durch Fokussuche

Profilometry of microstructures by depth from focus techniques
 
: Scheuermann, T.

Pfinztal: ICT, 1997, 186 pp. : Ill.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1997
Wissenschaftliche Schriftenreihe des ICT, 13
ISBN: 3-00-001620-1
German
Dissertation
Fraunhofer ICT ()
Berührungslose Messung; Mikrostruktur; Oberflächenfeingestalt; Oberflächenprüfung

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-44188.html