Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Application of SiC-X-ray masks for fabrication submicron devices

 
: Mackens, U.; Lüthje, H.; Mescheder, U.; Mund, F.; Pongratz, S.

Lin, B.J. ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.:
Optical/laser microlithography
Bellingham, Wash.: SPIE, 1988 (Proceedings of SPIE 922)
ISBN: 0-89252-957-1
Symposium on Microlithography <1988, Santa Clara/Calif.>
English
Conference Paper
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-4398.html