Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Atomistische Beschreibung der Diffusion von Dotieratomen und Gitterleerstellen in Silicium

 
: List, S.

Aachen: Shaker, 1997, X, 157 pp. : Ull.
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1997
Erlanger Berichte Mikroelektronik, 97,4
ISBN: 3-8265-2634-1
German
Dissertation
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()
diffusion; Dotan; Gitterleerstelle; Siliciumhalbleiter

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-43618.html