Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Zuverlässigkeitstest auf Waferebene

 
: Dreizner, A.; Lukat, K.

F und M. Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Mikroelektronik 105 (1997), No.1-2, pp.67-70 : Lit.
ISSN: 1437-9503
ISSN: 0944-1018
German
Journal Article
Fraunhofer IMS, Außenstelle Dresden ( IPMS) ()
Schaltkreis; test; wafer; Zuverlässigkeit; Zuverlässigkeitstest

Abstract
Hohe Ansprüche an die Zuverlässigkeit von Schaltkreisen erfordern optimierte Fertigungsprozesse. Dafür werden neue Zuverlässigkeitstests entwickelt. Sie können bereits vor der Herstellung kompletter Bauelemente an Teststrukturen auf Wafer-Ebene durchgeführt werden. Wafer Level Reliability-Tests werden für Prozeßmonitoring und Lebensdauerprognosen verwendet.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-42628.html