Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Zuverlässigkeit von Bipolartransistoren in BiCMOS-Technologien
| Robert-Bosch-GmbH, Reutlingen; Elmos Semiconductor AG, Dortmund; Infineon Technologies, München; Thesys Gesellschaft für Mikroelektronik, Erfurt; Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Dresden:
Workshop Smart Fabrication Qualitätsmanagement 1999
Tabarz, 1999
pp.91-119 |
| Workshop Smart Fabrication Qualitätsmanagement <2, 1999, Tabarz> |
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| German |
| Conference Paper |
| Fraunhofer IMS, Außenstelle Dresden ( IPMS) () |
| BICMOS; BICMOS-Technologie; Bipolartransistor; Zuverlässigkeit |
Abstract
Aufbauend auf einer im IMS erstellten Literaturstudie wurden die wesentlichen Degradationsphänomene bei Bipolartransistoren aufgezeigt. Nach Darstellung der Meßmethodik wurde demonstriert, wie man zu Zuverlässigkeitsaussagen kommt. Die Umsetzung in ein automatisiertes Meß- und Auswerteprogramm wurde durchgeführt und an einigen Transistoren des Projektpartners erprobt.