• English
  • Deutsch
  • Log In
    Password Login
    Research Outputs
    Fundings & Projects
    Researchers
    Institutes
    Statistics
Repository logo
Fraunhofer-Gesellschaft
  1. Home
  2. Fraunhofer-Gesellschaft
  3. Artikel
  4. Zerstörungsfreie Charakterisierung von Schichten mittels Wirbelstrommikroskopie
 
  • Details
  • Full
Options
1998
Journal Article
Title

Zerstörungsfreie Charakterisierung von Schichten mittels Wirbelstrommikroskopie

Abstract
Die Wirbelstrommikroskopie gehört zu den etablierten zerstörungsfreien Prüfverfahren. Die Steigerung der Leistungsfähigkeit von Prüfsystemen hinsichtlich der optimalen Auswahl der Prüffrequenzen und der Ortsauflösung der eingesetzten Sensorik eröffnet ein weites Anwendungsfeld zur Oberflächen- und Schichtcharakterisierung. Neben der Dynamik der Wirbelstromelektronik ist es das Sensordesign, das entscheidend die Leistungsfähgigkeit des Verfahrens bestimmt. Es wurden optimierte Wirbelstromsensoren für eine hohe Ortsauflösung entwickelt und in einem Wirbelstrommikroskop eingesetzt. Wichtige Anwendungsfelder für die Wirbelstrommikroskopie sind die Schichtdickenmessung, die Lokalisierung von Fehlern in Schicht und Substrat, die Anzeige von Leitfähigkeits- und Permeabilitätsänderungen in Schicht und Substrat sowie nach Kalibrierung eine Messung bzw. ein Mapping von mechanischen Eigenschaften von Schicht und Substrat.
Author(s)
Altpeter, I.
Meyendorf, N.
Journal
Galvanotechnik  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zerstörungsfreie Prüfverfahren IZFP  
Keyword(s)
  • crack detection

  • eddy current microscopy

  • eddy current sensor

  • Fehlerdetektion

  • Leitfähigkeit

  • nondestructive testing

  • Schicht

  • Wirbelstrom-Mikroskopie

  • Wirbelstromsensor

  • zerstörungsfreie Prüfung

  • Cookie settings
  • Imprint
  • Privacy policy
  • Api
  • Contact
© 2024