Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

X-ray investigations of boron- and germanium doped silicon epitaxial layers

 
: Herzog, H.-J.; Csepregi, L.; Seidel, H.

Journal of the Electrochemical Society 131 (1984), pp.2969-2974
ISSN: 0013-4651
ISSN: 1945-7111
ISSN: 0096-4786
English
Journal Article
Fraunhofer ISIT ()
Epitaxie; Lithographie; Röntgenstrahlen

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-42201.html