Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Anwendung des Laserausheilens fuer Halbleiterbauelemente

 
: Ryssel, H.; Goetzlich, J.

Journal de physique (1983), No.10, pp.C5/389 ff : Abb.,Lit.
ISSN: 0302-0738
German
Journal Article
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Dotierung; Laserannealing; Polysilizium

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-4194.html