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| Institut für Mikroelektronik Stuttgart -IMS CHIPS-:
Mikroelektronik fuer Maschinenbau und Fertigungstechnik. 12-Tage-Intensivkurs. Bd.5
Stuttgart, 1988
pp.10.1.1-10.1.23 : Abb. |
| Mikroelektronik für Maschinenbau und Fertigungstechnik <1988> |
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| German |
| Conference Paper |
| Fraunhofer IPA () |