Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Werkstofftrends: Mikrostrukturtechnologien

 
: Kohlhoff, J.; Kretschmer, T.

Werkstoffe in der Fertigung (1999), No.4, pp.3
ISSN: 0176-6058
ISSN: 0939-2629
German
Journal Article
Fraunhofer INT ()
Entwicklungstrends; micromechanics; Mikrostrukturtechnik; Mikrosystemtechnik; synopsis; technological trends; Überblick

Abstract
Der Artikel gibt einen kurzen Überblick über den Stand der Technik und die Entwicklungstrends auf dem Gebiet der Mikrostrukturtechnik. Behandelt werden technologische Grundlagen und Anwendungen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-41546.html