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Konferenzschrift
Werkstoffmechanische Untersuchungen von Komponenten der Mikrosystemtechnik
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1994
Conference Paper
Title
Werkstoffmechanische Untersuchungen von Komponenten der Mikrosystemtechnik
Author(s)
Michel, B.
Winkler, T.
Reichl, H.
Mainwork
11. Internationale Mittweidaer Fachtagung "Qualitäts- und Informationsmanagement" '94. Proceedings
Conference
Internationale Mittweidaer Fachtagung "Qualitäts- und Informationsmanagement" 1994
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM
