Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Wege zu hoeherer Integrationsdichte. Tl.1. Roentgenstrahlen fuer Hoechstintegration. Tl.2

 
: Heuberger, A.; Betz, H.

Markt und Technik (1981), No.15
ISSN: 0344-8843
German
Journal Article
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Höchstintegration; Lithographie; Röntgenstrahlen; Schaltung(integriert)

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-41349.html