Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Wafer-Level-Processmonitoring für Zuverlässigkeit und Ausbeute integrierter Schaltungen

 
: Dreizner, A.; Lukat, K.; Pahlitzsch, J.

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Dresden; Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg:
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Tätigkeitsbericht 1992
Duisburg: IMS, 1993
ISSN: 0932-5824
pp.60-64 : Lit.
German
Book Article
Fraunhofer IMS, Außenstelle Dresden ( IPMS) ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-41072.html