Fraunhofer-Gesellschaft

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Vorrichtung zur Pruefung der Homogenitaet der optischen Schichtdicke

Device for testing the homogeneity of optical layer thickness
 
: Dischler, B.; Koidl, P.; Pohl, F.

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Frontpage ()

DE 1983-3345897 A: 19831220
DE 1983-3345897 A: 19831220
DE 3345897 A1: 19850704
G01N0021
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IAF ()

Abstract
Bei einer Vorrichtung zur Pruefung der Homogenitaet eines optisch transparenten Werkstoffes wird ein Probekoerper (4) mit zwei im wesentlichen planparallelen Begrenzungsflaechen (3, 12) mit Hilfe eines Lichtstrahles (2) eines Lasers (1) entlang einer Vielzahl von Durchmessern abgetastet und das aufgrund einer Interferenz infolge einer Reflexion an den Begrenzungsflaechen (3, 12) in seiner Intensitaet schwankende Licht des Austrittsstrahles benutzt, um auf einem thermosensitiven Papier (15) ein Interferogramm zu erzeugen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-40960.html