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Patent
Title
Vorrichtung zur Pruefung der Homogenitaet der optischen Schichtdicke
Other Title
Device for testing the homogeneity of optical layer thickness
Abstract
Bei einer Vorrichtung zur Pruefung der Homogenitaet eines optisch transparenten Werkstoffes wird ein Probekoerper (4) mit zwei im wesentlichen planparallelen Begrenzungsflaechen (3, 12) mit Hilfe eines Lichtstrahles (2) eines Lasers (1) entlang einer Vielzahl von Durchmessern abgetastet und das aufgrund einer Interferenz infolge einer Reflexion an den Begrenzungsflaechen (3, 12) in seiner Intensitaet schwankende Licht des Austrittsstrahles benutzt, um auf einem thermosensitiven Papier (15) ein Interferogramm zu erzeugen.
Inventor(s)
Dischler, B.
Koidl, P.
Pohl, F.
Patent Number
1983-3345897
Publication Date
1985
Language
German