Vorrichtung zur optischen Abstandsmessung

Beschrieben wird eine Vorrichtung zur Messung des Abstandes einer Oberflaeche mit einer Lichtquelle, deren Licht ein optisches Beleuchtungssystem unter einem Winkel 90<Grad Celsius> auf diese Oberflaeche fokussiert, mit einem optischen Abbildungssystem im Nachweis-Strahlengang, das an von der Oberflaeche unter einem bestimmten Winkel reflektierte Licht auf ein Mess-Detektorarray abbildet, und mit einer Steuereinheit, die aus der Lage des Lichtflecks auf dem Mess-Detektorarray den Abstand der Oberflaeche berechnet. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass im Nachweis-Strahlengang ein Strahlteiler angeordnet ist, in dessen Mess-Zweig das Mess-Detektorarray angeordnet ist, und in dessen anderem Zweig ein Fouriersystem und ein positionsempfindlicher Korrekturdetektor angeordnet sind, und dass die Steuereinheit aus dem Ausgangssignal des Korrekturdetektors ein Korrektur-Signal bestimmt, das ein Mass fuer die Intensitaetsverteilung innerhalb der Aperturblende des optischen Abbildungssy stems ist und das bei einer Anordnung der Oberflaeche in der Brennebene des optischen Abbildungssystems und einer Reflexion unter dem Reflexionswinkel Null ist, und mit diesem Signal das Ausgangssignal des Mess-Detektorarrays korrigiert.