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VORRICHTUNG ZUR MESSUNG MECHANISCHER KRAEFTE UND KRAFTWIRKUNGEN

Device for the measurement of mechanical forces and dynamic effects
 

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DE 1989-3920645 A: 19890623
DE 1989-3920645 A: 19890623
EP 1990-908474 AW: 19900531
WO 1990- DE412: 19A
DE 3920645 C2: 19910508
EP 494143 B1: 19940727
G01P0015
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ISIT ()

Abstract
Beschrieben wird eine Vorrichtung zur Messung mechanischer Kraefte und Kraftwirkungen, die mittels mikromechanischer Prozesse herstellbar ist. Unter dem Einfluss einer mechanischen Kraft wird eine bewegliche Masse gegen den Widerstand eines Rueckstellelements ausgelenkt. Fuer viele Anwendungen muessen solche Vorrichtungen unempfindlich gegen mechanische Ueberbeanspruchung sein. Bei bekannten Loesungen wird der Ueberlastschutz durch meschsnische Anschlaege erreicht, die den Ausschlag der Masse begrenzen. Bei monolithisch integrierten Vorrichtungen bedeutet dies, dass ein zusaetzliches Element an der Vorrichtung angebracht werden muss. Die hier vorgestellte Vorrichtung weist Elemente zur mechanischen Begrenzung von Ausschlaegen der Masse auf, die gemeinsam mit den uebrigen Elementen monolithisch integriert werden koennen. Die Elemente sind als ineinanderfassende Zungen ausgebildet, die bewegungsbegrenzende Brueckenstrukturen aufweisen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-40932.html