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Title
Vorrichtung zur Erzeugung eines projizierten Objektgitters
Date Issued
1990
Author(s)
Patent No
1988-3817561
Abstract
Eine Vorrichtung zur Erzeugung eines projizierten Objektgitters fuer die Topographiemessung von Prueflingsoberflaechen gemaess dem Projektions-Moire-Verfahren verfuegt ueber einen Laser (6) ein vom Laserlicht (5) beaufschlagtes Zweistrahl-Interferometer. Das Interferometer verfuegt ueber einen ersten feststehenden sphaerischen Spiegel (14) und einen zweiten verstellbaren sphaerischen Spiegel (17). Durch eine transversale Verschiebung des zweiten sphaerischen Spiegels (17) kann die Gitterkonstante des Objektgitters (1) verstellt werden. Eine axiale Verschiebung des sphaerischen Spiegels (17) gestattet eine Einstellung der Phasenlage des Objektgitters (1).
Language
de
Patenprio
DE 1988-3817561 A: 19880524