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Title
Anordnung zur Messung der Konzentration von Ionen, Atomen und Molekuelen in Gasen und Fluessigkeiten
Date Issued
1990
Author(s)
Zimmer, Günter
Dobos, Karoly
Patent No
1987-3735120
Abstract
Beschrieben wird eine Anordnung zur Untersuchung von Ionen, Atomen und Molekuelen in Gasen und Fluessigkeiten durch ein Halbleiterbauelement mit Feldeffekt. Bei bekannten gassensitiven Feldeffekttransistoren wird die Verschiebung der Schwellenspannung durch die nachzuweisenden Teilchen zur Messung herangezogen. Da die Schwellenspannung stark von der Lage des Arbeitspunktes abhaengt, wird die Messung durch Arbeitspunkt-Instabilitaeten verfaelscht. Die neue Anordnung zieht zur Messung die Aenderung des Verstaerkungsfaktors durch die nachzuweisenden Teilchen heran. Die Gate-Elektrode ist aus Teilelektroden (4) zusammengesetzt, die keine leitende Verbindung mit dem Gate-Kontakt (3) aufweisen. Durch Einwirkung der zu messenden Teilchen werden zunehmend mehr Teilelektroden (4) mit dem Gate-Kontakt (3) verbunden, wodurch die wirksame Flaeche der Gate-Elektrode und der Verstaerkungsfaktor der Anordnung zunehmen.
Language
de
Patenprio
DE 1987-3735120 A1: 19871016