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Anordnung zur Messung der Konzentration von Ionen, Atomen und Molekuelen in Gasen und Fluessigkeiten

Test setup for measuring the concentration of ions, atoms and molecules in gases and liquids
 
: Zimmer, G.; Dobos, K.

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Frontpage ()

DE 1987-3735120 A1: 19871016
DE 1988-3835339 A: 19881017
DE 3835339 C2: 19900906
G01N0027
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IMS ()

Abstract
Beschrieben wird eine Anordnung zur Untersuchung von Ionen, Atomen und Molekuelen in Gasen und Fluessigkeiten durch ein Halbleiterbauelement mit Feldeffekt. Bei bekannten gassensitiven Feldeffekttransistoren wird die Verschiebung der Schwellenspannung durch die nachzuweisenden Teilchen zur Messung herangezogen. Da die Schwellenspannung stark von der Lage des Arbeitspunktes abhaengt, wird die Messung durch Arbeitspunkt-Instabilitaeten verfaelscht. Die neue Anordnung zieht zur Messung die Aenderung des Verstaerkungsfaktors durch die nachzuweisenden Teilchen heran. Die Gate-Elektrode ist aus Teilelektroden (4) zusammengesetzt, die keine leitende Verbindung mit dem Gate-Kontakt (3) aufweisen. Durch Einwirkung der zu messenden Teilchen werden zunehmend mehr Teilelektroden (4) mit dem Gate-Kontakt (3) verbunden, wodurch die wirksame Flaeche der Gate-Elektrode und der Verstaerkungsfaktor der Anordnung zunehmen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-4077.html