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Patente
Vorrichtung zum Gasflusssputtern
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Title
Vorrichtung zum Gasflusssputtern
Date Issued
1996
Author(s)
Jung, T.
Patent No
1992-4210125
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=4210125A
Patenprio
DE 1992-4210125 A: 19920327