Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Extrem-Ultraviolettstrahlung und weicher Roentgenstrahlung aus einer Gasentladung

 
: Lebert, R.; Bergmann, K.; Schriever, G.; Neff, W.

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DE 1997-19753696 A: 19971203
DE 1997-19753696 A: 19971203
EP 1998-965738 AW: 19981202
WO 1998-EP7829 A: 19981202
DE 19753696 A1: 19990617
EP 1036488 B1: 20020327
H05G0002
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ILT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-40603.html