Vorgehensweisen zur Kontaminationsminimierung bei Fertigungsgeräten

Im vorliegenden Aufsatz wird zum einen die Vorgehensweise bei der Herstellung von Fertigungsgeräten für den Einsatz unter Reinraumbedingungen, zum anderen mögliche Verfahren, bereits vorhandene Geräte für den Reinraumeinsatz tauglich zu machen, aufgezeigt. Im ersten Fall werden die entsprechenden reinraumtechnischen Randbedingungen bereits beim Entwurf und bei der Konstruktion und schließlich bei der Fertigung des Gerätes berücksichtigt und eingehalten. Wird nach den Regeln der Reinraumtechnik vorgegangen, kann von einem reinraumgerechten Bau eines Fertigungsgeräts bzw. von einem Clean Equipment Design (CED) gesprochen werden. Im zweiten Fall wird im wesentlichen die Durchführung einer ausführlichen Reinraumtauglichkeitsuntersuchung zur Lokalisierung von Partikelquellen beschrieben. Durch Neugestaltung oder Austausch nicht reinraumtauglicher Baugruppen wird das Fertigungsgerät nachträglich umgerüstet, um die ensprechende Reinraumtauglichkeit zu erzielen. Die abschließenden Reinraumtaug lichkeitsuntersuchungen geben Aufschluß über den Erfolg des Clean Equipment Design oder der Modifikation eines Fertigungsgeräts.