Fraunhofer-Gesellschaft

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Visionsystem zur Qualitätssicherung in der Fertigung von Mikro/Millimeterwellenkomponenten

 
: Gramann, U.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Produktionstechnik für Mikrosysteme : IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart
Stuttgart: Fraunhofer IPA, 1996
pp.2-5
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Seminar) <1996, Stuttgart>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Bildverarbeitung; Fertigungsprozeß; Mikrosystem; Mikrosystemtechnik; Millimeterwelle; Qualitätssicherung

Abstract
Der Einsatz industrieller Bildbearbeitung zur Entwicklung und Überwachung von Fertigungsprozessen in der Mikrosystemtechnik ist wie auch in anderen technisch vergleichbaren Gebieten vielsprechend; der Einsatz von Visionsystemen, die bereits in der Produktion elektronischer Artikel eingesetzt werden, ist auch auf die Produktionstechnik der Mikrosystemtechnik übertragbar und eignet sich zur Prozeßentwicklung in Sinne der statistischen Versuchsplanung und -regelung. Jedoch besteht noch sehr viel Entwicklungsbedarf auf diesem Gebiet, da andere Größenordnungen der Strukturen sowie Materialeinsatz und -kombinationen als in der Mikroelektronik gegeben sind.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-40255.html