Fraunhofer-Gesellschaft

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Anforderungen an den Reinraum aus der Sicht der Halbleitertechnologie

 
: Ryssel, H.; Pfitzner, L.

Concept, Heidelberg:
Fortschritte der Reinraumtechnik. CONCEPT-Symposion
Heidelberg, 1986 (Pharma-Technologie-Journal 7.1986,1)
pp.42
Symposion "Fortschritte der Reinraumtechnik" <1985, Frankfurt/Main>
German
Conference Paper
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()
Anforderung; Halbleitertechnologie; Reinraum

Abstract
Es wurde aufgezeigt, wie Reinraeume fuer die Halbleitertechnologie prinzipiell gestaltet sind und welche Zusatzbedingungen prozessbedingter Art zu erfuellen sind. Je nach gefertigtem Halbleiterbauelement sind Reinraumklassen von 10.000 (Leistungshalbleiter, Einzeltransistoren, Dioden) und besser als 1 (ab 16 Mbit Speicher) notwendig. Fuer hoechste Ansprueche wird vermutet, dass das derzeitige Konzept von Reinraum (Weissraum) fuer die Prozesstechnik und Grauraum fuer Wartung und Medienversorgung durch eine reine Weissraumtechnik mit darunterliegenden Wartungs-, Installations- und Mediengeschoss abgeloest wird.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-3919.html