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Patente
Verfahren zur Ausbildung einer raeumlichen Chipanordnung und raeumliche Chipanordung
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Patent
Title
Verfahren zur Ausbildung einer raeumlichen Chipanordnung und raeumliche Chipanordung
Inventor(s)
Oppermann, H.H.
Azdasht, G.
Kasulke, P.
Zakel, E.
Link to Espacenet
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19626126A
Patent Number
1996-19626126
Publication Date
1998
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM