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Verfahren zur Ausbildung einer raeumlichen Chipanordnung und raeumliche Chipanordung
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Title
Verfahren zur Ausbildung einer raeumlichen Chipanordnung und raeumliche Chipanordung
Date Issued
1998
Author(s)
Oppermann, H.H.
Azdasht, G.
Kasulke, P.
Zakel, E.
Patent No
1996-19626126
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19626126A
Patenprio
DE 1996-19626126 A: 19960628