Fraunhofer-Gesellschaft

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Verfahren zur Abscheidung einer Bor und Stickstoff enthaltenden Schicht

Process for the deposition of a layer containing borium and nitrogen
 

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DE 1991-4113791 A: 19910426
DE 1991-4113791 A: 19910426
EP 1992-106759 A: 19920421
DE 4113791 A1: 19921029
EP 510567 A: 19921028
C23C0016
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IST ()

Abstract
The description relates to a process for the deposition of layers containing B and N with N-substituted borazoles, in particular according to a plasma CVD process.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-38981.html