: Gerold, F.; Schulz, U.

Abstract
Verfahren zur 3-D-Shear-Bildauswertung, bei dem polarisiertes Beleuchtungslicht durch mindestens ein Shear-Betrag-erzeugendes Element (Nomarski-Prisma 4) in zwei Wellenfronten aufgeteilt wird, dann die Wellenfronten durch ein abbildendes optisches Element so gefuehrt werden, dass Beleuchtungslicht auf die Probe 7 trifft, von dort reflektiert wird, das abbildende optische Element und das Shear-Betrag-erzeugende Element durchlaufen wird und dabei die beiden reflektierten Wellenfronten ueberlagert werden und durch einen Analysator (2) zur Interferenz gebracht werden, dadurch gekennzeichnet, dass durch Drehung der Shear-Richtung bezueglich der Oberflaeche der Probe 7 um die optische Achse 11 des Systems um mindestens einen Winkelbetrag und Durchfuehrung je einer Messung in den unterschiedlichen Winkelstellungen Licht durch einen Empfaenger (Matrixempfaenger 1) registriert und mit Hilfe einer Bildauswerteeinheit (10) Messwerte als Bilder dargestellt werden.