Publica

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Verfahren zum Beschichten von Oberflaechen eines Substrates, Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens, Schichtsystem sowie beschichtetes Substrat

	DE 1998-19807086 A: 19980220
	DE 1998-19807086 A: 19980220 WO 9942637 A1: 19990826
	DE 19807086 A1: 19990826
	C23C0014 C23C0016

	German
	Patent, Electronic Publication
	Fraunhofer IST ()