Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Verfahren zum Beschichten von Oberflaechen eines Substrates, Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens, Schichtsystem sowie beschichtetes Substrat

 
: Klages, C.; Thyen, R.; Hoeing, T.

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DE 1998-19807086 A: 19980220
DE 1998-19807086 A: 19980220
WO 9942637 A1: 19990826
DE 19807086 A1: 19990826
C23C0014
C23C0016
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-38786.html