Patent
Title

Verfahren zum Beschichten von Oberflaechen eines Substrates, Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens, Schichtsystem sowie beschichtetes Substrat

Inventor(s)
Klages, C.
Thyen, R.
Hoeing, T.
Link to:
Patent Number
1998-19807086
Publication Date
1999
Language
German