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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Verfahren zum Beschichten von Oberflaechen eines Substrates, Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens, Schichtsystem sowie beschichtetes Substrat
 
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Options
Patent
Title

Verfahren zum Beschichten von Oberflaechen eines Substrates, Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens, Schichtsystem sowie beschichtetes Substrat

Inventor(s)
Klages, C.
Thyen, R.
Hoeing, T.
Link to Espacenet
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19807086A
Patent Number
1998-19807086
Publication Date
1999
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST  
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