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Patent
Title
Verfahren zum Beschichten von Oberflaechen eines Substrates, Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens, Schichtsystem sowie beschichtetes Substrat
Inventor(s)
Klages, C.
Thyen, R.
Hoeing, T.
Patent Number
1998-19807086
Publication Date
1999
Language
German