English
Deutsch
Log In
Password Login
or
Log in with Fraunhofer Smartcard
Research Outputs
Projects
Researchers
Institutes
Statistics
Fraunhofer-Gesellschaft
Home
Fraunhofer-Gesellschaft
Patente
Verfahren zum Ausrichten von in einem Substrat zu erzeugenden Strukturen
Details
Export
Statistics
Options
Title
Verfahren zum Ausrichten von in einem Substrat zu erzeugenden Strukturen
Date Issued
1997
Author(s)
Buchner, R.
Neumeier, K.
Patent No
1995-19543893
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19543893A
Patenprio
DE 1995-19543893 A: 19951124