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Title
Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von Ionenstrahlen mit grossflaechigem Strahlquerschnitt
Date Issued
1994
Author(s)
Janes, J.
Patent No
1989-3900252
Abstract
Beschrieben wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Erzeugung von Ionenstrahlen mit grossflaechigem Strahlquerschnitt. Ein Ionenstrahl, der zur Trockenaetzung bei der Herstellung mikroelektronischer Bauelemente verwendet wird, muss eine hohe Strahlqualitaet aufweisen (kleine Divergenz, wenig Verunreinigungen, hohe Stromdichte). Bei bekannten grossflaechigen Ionenstrahlquellen werden die Ionen mit Hilfe von Gittern aus dem Plasma extrahiert. Die Verwendung des Gitters wirkt sich wegen des Feldverlaufes an den Gitterpunkten stoerend auf die Strahlqualitaet aus. Das erfindungsgemaesse Verfahren kommt voellig ohne Gitter aus, die Ionen werden mit Hilfe von Metallzylindern beschleunigt. Dabei gewaehrleistet eine gepulste Erzeugung der Ionen und eine gepulste Beschleunigung, dass die Ionen nur dann durch Feldern beschleunigt werden, wenn sie sich in Bereichen bewegen, in denen ein nahezu homogenes Feld herrscht. Durch die damit erreichte hohe Strahlqualitaet eignet sich der Ionenstrahl z ur Herstellung kleinster Strukturen im Sub-<my>-Bereich.
Language
de
Patenprio
DE 1989-3900252 A: 19890105