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VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG VOM TEILCHENFOERMIGEM MATERIAL MIT ELEKTRONENSTRAHLEN
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Title
VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG VOM TEILCHENFOERMIGEM MATERIAL MIT ELEKTRONENSTRAHLEN
Date Issued
1994
Author(s)
Gaber, K.
Panzer, S.
Schmidt, J.
Schiller, S.
Kuehn, G.
Scholze, F.
Ellert, H.
Lindner, K.
Scholze, T.
Pflaumbaum, J.
Burth, U.
Greilich, J.
Patent No
1990-1
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=EP&NR=903029AW
Patenprio
DD 1990-1 A: 19900131