Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Verfahren und Einrichtung zur Abscheidung von Funktionsschichten auf einem Substrat mittels plasmagestuetzter Schichtabscheidung

 
: Grimm, W.; Vollstaedt, H.; Scheibe, H.J.

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DE 1994-4443504 A1: 19941207
DE 1995-19545050 A: 19951202
DE 19545050 C2: 19991021
C23C0016
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IWS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-38435.html