Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Verbundprojekt: Schmierstoff- und energiesparende Schneidwerkzeuge zur Bearbeitung großer Guß- und Stahlbauteile. Teilprojekt: Verschleiß- und reibungsmindernde Beschichtungen
| Aul, R. ; VDI-Technologiezentrum Physikalische Technologien, Düsseldorf; Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie -BMBF-, Bonn:
Statusseminar Oberflächen- und Schichttechnologien 1995
Düsseldorf: VDI Technologiezentrum, 1995
pp.667-673 |
| Statusseminar Oberflächen- und Schichttechnologien <1995, Mainz> |
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| German |
| Conference Paper |
| Fraunhofer IPA () |
| Abscheidung; Graphit; Messen; Schutzschicht; Teilchen |
Abstract
Nach dem kathodischen Vakuumbogen(Arc)-Verfahren abgeschiedene reine oder durch zusätzliches Sputtern oder Verdampfen erhaltene metallhaltige, etwa 1 µm dicke Kohlenstoffschichten zeigen eine sehr rauhe Oberflächenstruktur, die auf eine hohe Anzahl vom Target emittierter graphitischer Makropartikel mit bis zu 2 µm Durchmesser zurückzuführen ist. Diese Graphitpartikel bestimmen die mechanischen Eigenschaften der Schichten. Mit Hilfe der Auger-Elektronen-Spektroskopie konnten weder diamantähnlicher noch karbidischer Kohlenstoff nachgewiesen werden. Ohne eine Verringerung der Zahl der graphitischen Makroteilchen ist das Arc-Verfahren für die Abscheidung verschleiß- und reibungsmindernder Kohlenstoff-Schichten auf spanabhebenden Werkzeugen nicht sinnvoll.