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1992
Conference Paper
Title
Verbundprojekt - Erforschung der Verfahrenskombinationen zur Erzeugung elektromagnetisch schirmender Schichtsysteme
Abstract
Elektronische Geräte oder Bauteile, die in Kunststoffgehäusen montiert sind, müssen durch elektromagnetisch schirmende Metallschichten vor elektromagnetischer Störstrahlung geschützt werden. Aus wirtschaftlichen und technologischen Gründen können solche Schichtsysteme vorteilhaft durch Kombination von PVD- und elektrochemischer Beschichtung aufgebaut werden. Die Plasmaätzung zur Reinigung und Aktivierung der Kunststoffoberfläche und eine geringe Substrattemperatur durch LTAVD-Prozesse sind entscheidende Technologieschritte für eine genügend hohe Haftung der Metallschichten auf dem Kunststoffmaterial.
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