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Verbundprojekt - Dünnschichttechnologische Erforschung und physikalisch-chemische Charakterisierung organischer und metallorganischer Schichten in Wechselwirkung mit technischen Gasen. Teilprojekt - Entwicklung der Dünnschichttechnologie zur Erzeugung organischer und metallorganischer Schichten und elektrische Vermessung der Schichten in Wechselwirkung mit technischen Gasen

FKZ 13 N 5796/4
 
: Sulz, G.; Kühner, G.; Uptmoor, G.; Lacher, M.

Fellenberg, R. ; VDI-Technologiezentrum Physikalische Technologien, Düsseldorf:
Dünnschichttechnologien '92. Statusseminar. Berichte zu F+E-Projekten aus dem Förderbereich Physikalische Technologien des Bundesministeriums für Forschung und Technologie
Düsseldorf: VDI-Verlag, 1992 (VDI-TZ-Proceedings)
ISBN: 3-18-401249-2
pp.1-9 : Abb.,Lit.
Statusseminar Dünnschichttechnologien <3, 1992, Düsseldorf>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPM ()
Dünnschicht; gassensor; Interdigitalstruktur; metallorganische Schicht; organische Schicht

Abstract
Verschiedene organische und metallorganische Verbindungen wurden als dünne Schichten auf Interdigitalstrukturen aufgebracht und hinsichtlich ihrer elektrischen Eigenschaften in Wechselwirkung mit technischen Gasen charakterisiert. Die Herstellung der Schichten erfolgte mit dem Spin-on-Verfahren; parallel dazu wurden seit November 1991 Beschichtungen mit einer im Rahmen dieses Projektes angeschafften PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition)-Anlage durchgeführt. Dünnschichttechnologische Prozesse zur Herstellung von Grundstrukturen für Wärmetönungsmessungen wurden entwickelt.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-38329.html