Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

UV-depth lithography and galvanoforming for micro machining

 
: Löchel, B.; Maciossek, A.; Wagner, B.; Quenzer, H.J.

:

Journal of the Electrochemical Society 143 (1996), pp.237-244
ISSN: 0013-4651
English
Journal Article
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-38135.html