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Umfassende leistungsfähige Verhaltensbeschreibung von mechanischen Mikrostrukturen unter Anwendung der FEM-Simulation
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1997
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Titel
Umfassende leistungsfähige Verhaltensbeschreibung von mechanischen Mikrostrukturen unter Anwendung der FEM-Simulation
Author(s)
Kunze, D.
Erlebach, A.
Todt, U.
Stephan, R.
Hauptwerk
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Jahresbericht 1996
Language
German
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IMS2