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1996
Journal Article
Titel
Ultrapräzisionsbearbeitung und Fertigung von Mikrokomponenten
Abstract
In diesem Beitrag werden die Bearbeitung von ultrapräzisen Bauteilen und die Fertigung von Mikrokomponenten am IPT vorgestellt. Insbesondere wird die Herstellung von Mikrostrukturen durch Diamantdrehen und -fräsen, die Bearbeitung nicht-rotationssymmetrischer Oberflächen mit einem Fast-Tool-Servo, das Schleifen und Läppen von Diamantwerkzeugen mit einer Läppmaschine und die Prozeßtechnologie bei der Zerspanung sprödharter Werkstoffe erläutert.