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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Übersicht Projektarbeiten FhG-IMS im Verbundprojekt Smart Fabrication QM
 
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1999
Conference Paper
Title

Übersicht Projektarbeiten FhG-IMS im Verbundprojekt Smart Fabrication QM

Abstract
Folgende Beiträge wurden im Rahmen der Projektarbeiten erbracht: AFM-Untersuchungen technologiebedingter Rauhigkeiten von Si-OF. Entwicklung von Tools für Zuverlässigkeitsuntersuchungen an dünnen Gateoxiden. Modellierung von GOX-Ausfallzeit-Verteilungen. Analyse von Lebensdauer-Modellen von MOS-Kapazitäten. Entwicklung eines neuartigen WLR-Verfahrens für das Screening von Transistoren. Bereitstellung von zwei WLR-Tests für Elektromigrationsmessungen an Leitbahnen und Hot Carrier Tests an bipolaren Transistoren. Mitwirkungsleistungen bei der Herstellung der Meßbereitschaft von zwei WLR-Meßplätzen bei den Industriepartnern (Konzept, Software, Training, Spezifikationen, Referenzmessungen). Entwicklung eines Defekt Management Clusters im MEM-Komplex.
Author(s)
Dreizner, A.
Florenz, W.
Lange, U.
Lukat, K.
Miskowiec, P.
Scharfe, R.
Stephan, R.
Wagner, H.
Mainwork
Workshop Smart Fabrication Qualitätsmanagement 1999  
Conference
Workshop Smart Fabrication Qualitätsmanagement 1999  
Language
German
IMS2  
Keyword(s)
  • QM-System

  • Qualitätssicherung

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