Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Übersicht Projektarbeiten FhG-IMS im Verbundprojekt Smart Fabrication QM
| Robert-Bosch-GmbH, Reutlingen; Elmos Semiconductor AG, Dortmund; Infineon Technologies, München; Thesys Gesellschaft für Mikroelektronik, Erfurt; Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Dresden:
Workshop Smart Fabrication Qualitätsmanagement 1999
Tabarz, 1999
pp.9-27 |
| Workshop Smart Fabrication Qualitätsmanagement <2, 1999, Tabarz> |
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| German |
| Conference Paper |
| Fraunhofer IMS, Außenstelle Dresden ( IPMS) () |
| QM-System; Qualitätssicherung |
Abstract
Folgende Beiträge wurden im Rahmen der Projektarbeiten erbracht: AFM-Untersuchungen technologiebedingter Rauhigkeiten von Si-OF. Entwicklung von Tools für Zuverlässigkeitsuntersuchungen an dünnen Gateoxiden. Modellierung von GOX-Ausfallzeit-Verteilungen. Analyse von Lebensdauer-Modellen von MOS-Kapazitäten. Entwicklung eines neuartigen WLR-Verfahrens für das Screening von Transistoren. Bereitstellung von zwei WLR-Tests für Elektromigrationsmessungen an Leitbahnen und Hot Carrier Tests an bipolaren Transistoren. Mitwirkungsleistungen bei der Herstellung der Meßbereitschaft von zwei WLR-Meßplätzen bei den Industriepartnern (Konzept, Software, Training, Spezifikationen, Referenzmessungen). Entwicklung eines Defekt Management Clusters im MEM-Komplex.