Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Amorphous carbon coatings prepared by high rate rf plasma deposition from fluorinated benzenes

 
: Sah, R.E.; Bubenzer, A.; Dischler, B.; Koidl, P.

:

Applied Physics Letters 46 (1985), No.8, pp.739-741 : Abb.,Tab.,Lit.
ISSN: 0003-6951 (Print)
ISSN: 1077-3118
English
Journal Article
Fraunhofer IAF ()
Dünnschicht; fluorierter Kohlenwasserstoff; Plasmaverfahren

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-3715.html