Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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TUEV fuer Reinraeume. Pruefzentrum im IPA untersucht Reinraumtauglichkeit

 
: Klumpp, B.; Schmutz, W.

Produktion (1988), No.46, pp.5 : Abb.
ISSN: 0032-9967
ISSN: 0344-6166
German
Journal Article
Fraunhofer IPA ()
Mikroelektronik; Prozeßgerät; Prüfzentrum; Reinraumtauglichkeit; Reinraumtechnik

Abstract
Die hohen Anforderungen an reinraumtaugliche Prozeßgeräte und -peripherie machen eines unumgänglich: Über den "Reinheitsgrad" der Komponenten müssen zuverlässige und gesicherte Daten vorliegen. Das neu eröffnete Prüfzentrum im IPA kann dem Anwender hierbei wertvolle Hilfestellung geben. (IPA)

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-37123.html