Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Ammonia- und kohlenmonoxid-empfindliche MOS-Strukturen

 
: Dobos, K.; Zimmer, G.

ACS Organisations GmbH, Wunstorf:
Sensor '88. Internationale Fachausstellung mit Kongreß und Sonderschau für Forschung, Entwicklung und Anwendung
Wunstorf, 1988
pp.25
Sensor <1988, Nürnberg>
German
Conference Paper
Fraunhofer IMS ()
Ammonium; Kohlenmonoxid; MOS-Schaltung; MOS-Struktur

Abstract
MOS-Transistoren mit spezieller Gate-Metallisierung wie strukturiertes Pd-Metall und SnO2 besitzen eine gute Kohlenmonoxid-Empfindlichkeit. Durch spezielle Strukturierung (wie Spalt-Strukturen) und die Anwendung spezieller Pd-Halbleiteroxid-Doppelschicht-Strukturen konnten die Eigenschaften des MOS-CO-Sensors so weit entwickelt werden,daß seine Eigenschaften hinsichtlich Querempfindlichkeit, Feuchtigkeitsempfindlichkeit usw. besser sind als die der kommerziell vertriebenen japanischen SnO2-Halbleiteroxid-Sensoren.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-3709.html