Abstract
Das Ziel einer Fertigung im Reinraum ist, die Produkte zu jedem Zeitpunkt des Fertigungs- und Prozeßdurchlaufs in einer Umgebung höchster Reinheit zu halten. Um die Reinraumkosten zu senken, ist man bemüht, die notwendige Reinraumfläche zu minimieren, indem sogenannte lokale Reinräume im Prozeßbereich, in dem sich die Produkte nicht durch hermetisch verschlossene Boxen einkapseln lassen, installiert werden.