Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Trajectory split method for Monte-Carlo simulation of ion implantation

 

:

IEEE transactions on semiconductor manufacturing 8 (1995), pp.402
ISSN: 0894-6507
English
Journal Article
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-36794.html