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1997
Conference Paper
Titel
Tools zur papierlosen Fertigung
Alternative
Tools for paperless production
Abstract
Die Beherrschung der Datenvielfalt in der Waferprozessierung ist mit herkömmlichen Mitteln nicht mehr gewährleistet. Durch Datenhaltung in elektronischen Systemen wird über eine automatische Bereitstellung produktionsrelevanter Daten eine Erhöhung der Prozeßsicherheit erreicht. Die Sammlung jeglicher Historiendaten in elektronischen Medien gibt eine Basis für verbesserte Analyse auf der Basis verläßlicher Daten. Als gewünschter Nebeneffekt wird eine Reduzierung von Papier im Reinraum erreicht, was eine Reduzierung von Partikelquellen bedeutet.
Konferenz