Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Tools zur papierlosen Fertigung

Tools for paperless production
 
: Adam, M.; Köpf, H.-P.; Hägele, K.-D.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Smart Fabrication Verbund CIM 1997 : Zweiter Offener Workshop München, 10./11. Juli 1997
Stuttgart, 1997
pp.88-99
Workshop Smart Fabrication <2, 1997, München>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
CIM; Datenbank; Datenerfassung; Datensicherung; Datenübertragung; Datenverarbeitung; Fertigung; Fertigungsprozeß; Halbleiter; Papierlose Fertigung; Prozeßsicherheit

Abstract
Die Beherrschung der Datenvielfalt in der Waferprozessierung ist mit herkömmlichen Mitteln nicht mehr gewährleistet. Durch Datenhaltung in elektronischen Systemen wird über eine automatische Bereitstellung produktionsrelevanter Daten eine Erhöhung der Prozeßsicherheit erreicht. Die Sammlung jeglicher Historiendaten in elektronischen Medien gibt eine Basis für verbesserte Analyse auf der Basis verläßlicher Daten. Als gewünschter Nebeneffekt wird eine Reduzierung von Papier im Reinraum erreicht, was eine Reduzierung von Partikelquellen bedeutet.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-36651.html