Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Thin-film SnO2 gas sensors on Si substrates for CO and CO2 detection

 
: Steiner, K.; Hoefer, U.; Kühner, G.; Sulz, G.; Wagner, E.

Reichl, H.; Heuberger, A.:
Micro-system technologies '94
Berlin; Offenbach: VDE-Verlag, 1994
ISBN: 3-8007-2058-2
pp.429-437
International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanic Systems and Components <4, 1994, Berlin>
English
Conference Paper
Fraunhofer IPM ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-36509.html