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Konferenzschrift
Thin-film SnO2 gas sensors on Si substrates for CO and CO2 detection
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1994
Conference Paper
Title
Thin-film SnO2 gas sensors on Si substrates for CO and CO2 detection
Author(s)
Steiner, K.
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
Hoefer, U.
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
Kühner, G.
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
Sulz, G.
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
Wagner, E.
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
Mainwork
Micro-system technologies '94
Conference
International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanic Systems and Components 1994
Language
English
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
