English
Deutsch
Log In
Password Login
or
Log in with Fraunhofer Smartcard
Research Outputs
Projects
Researchers
Institutes
Statistics
Fraunhofer-Gesellschaft
Home
Fraunhofer-Gesellschaft
Konferenzschrift
Thermomechanische Analysen mikrotechnischer Komponenten
Details
Full
Export
Statistics
Options
1995
Conference Paper
Titel
Thermomechanische Analysen mikrotechnischer Komponenten
Author(s)
Faust, W.
Dudek, R.
Michel, B.
Hauptwerk
2. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Mikromechanik, und Mikroelektronik '95. Proceedings
Konferenz
Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Mikromechanik und Mikroelektronik 1995
Language
German
google-scholar
View Details
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM